MEMS研究的主要内容包括（）。

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MEMS研究的主要内容包括（）。

① A.微型器件

② B. 微观力学

③ C.微细工艺

④ D.器件封装技术

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① 肌丝

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① 核酸、包膜

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① 股骨头

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① 第1肋

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