光刻工艺包括的步骤有（）。

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【多选题】【消耗次数：1】

光刻工艺包括的步骤有（）。

① A.涂胶

② B.曝光

③ C.显影

④ D.烘胶

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① 正确

② 错误

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① 静态信息

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① A.不负刑事责任

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③ C.从轻或者减轻处罚

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② 错误

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① 正确

② 错误

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① 正确

② 错误

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① 正确

② 错误

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① 正确

② 错误

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① 正确

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① 正确

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