标志着MEMS时代的来临的事件是（）。

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【单选题】【消耗次数：1】

标志着MEMS时代的来临的事件是（）。

① A.出现第一个晶体管

② B.出现表面微工艺

③ C.出现微加速度传感器

④ D.出现静电微电机

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